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JJG28-2019平晶检定规程
范围
本规程适用于平晶(包括平面平晶、平行平晶和长平晶)的首次检定、后续检定和
使用中检查。
2 引用文件
本规程引用下列文件:
GB/T903—2019 无色光学玻璃
JB/T7401—1994 平面平晶
JB/T7402—1994 平行平晶
ISO14999-4:2015 (E)光学和光子学 光学元件和光学系统的干涉仪测量 第4
部分:在ISO10110中所明确规定的公差说明和评价(Opticsandphotonics—Interferometricmeasurementofopticalelementsandopticalsystems—
Part4:Interpretationand
evaluationoftolerancesspecifiedinISO10110)
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规程;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规程。
3 概述
平晶是以光波干涉法测量平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具,包括平
面平晶、平行平晶和长平晶。平面平晶按工作面数可分为单工作面平晶和双工作面平
晶,其外形示意见图1;按用途又可分为标准平晶和工作平晶两大类,标准平晶分为
一、二等,工作平晶分为一、二级。
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